Определение всех показателей качества особо чистой воды по ASTM D1193-06(2011) является непростой аналитической задачей, требующей дорогостоящего оборудования и квалифицированного персонала, поэтому системы очистки воды оснащают встроенными измерителями качества получаемой воды. 

Основной показатель загрязнения неорганическими веществами — удельная электрическая проводимость, УЭП (или обратная величина — удельное электрическое сопротивление, УЭС), относительно легко измеряется и является основным показателем качества воды.  Теоретически достижимое значение УЭС  равно 18,2 МОм-см (0,055 мкСм/см) при 25 °С. Измерение УЭП особо чистой воды имеет ряд особенностей, описанных в ASTM D5391, поэтому во всех системах очистки воды ELGA имеется встроенный кондуктометр, оптимизированный для контроля качества особо чистой воды.

Содержание общего органического углерода (TOC) — другой важный показатель качества высокоочищенной воды, характеризующий уровень содержания органических примесей. Высокочувствительный анализатор TOC — дорогостоящий прибор, доступный не в каждой лаборатории. В ряде систем для получения воды типа I компания ELGA использует встроенный монитор TOC, работающий по принципу сравнения проводимости воды до и после облучения УФ-лампой и позволяющий гарантировать качество воды.

Для получения воды с низким значением TOC важно соблюдать рекомендации производителя по периодической обработке системы очистки дезинфицирующим средством — санитизации.

Обращает на себя внимание тот факт, что pH  в высокоочищенной воде не контролируется, так как содержание примесей столь мало,  что не оказывает существенного влияния  на значение pH, а измерение его при высоком сопротивлении чистой воды затруднено.