Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой (ИСП-МС) — это разновидность масс-спектрометрии, отличающаяся высокой чувствительностью и способностью определять ряд металлов и нескольких неметаллов в концентрациях до ppt. Метод основан на использовании индуктивно-связанной плазмы в качестве источника ионов и масс-спектрометра для их разделения и детектирования. ИСП-МС также позволяет проводить изотопный анализ выбранного иона.

Во избежание получения неточных результатов все реагенты и растворители, используемые в ИСП-МС должны быть очищены от следовых количеств определяемых элементов, а так же от элементов и соединений, которые могут оказать мешающее влияние на проведение анализа.

С этой целью для проведения анализов с использованием ИСП-МС применяют только высокочистую воду Тип I с сопротивлением 18,2 МОм-см с предельно низким уровнем TOC (общего органического углерода) и бактерий.